又称硅氟酸，化学式为H2SiF6，是一种气态酸，无水是无色气体，不稳定，易分解为四和氟化。水溶液无色，是强酸，有腐蚀性，能侵蚀玻璃。保存于蜡制或塑料制等容器中。浓溶液发烟，冷却时析出无色二水物(二水合)晶体，熔点19℃。有消毒性能。用于制盐和冰晶石，并用于电镀、啤酒消毒、木材防腐等。由二氧化硅溶解于氟酸中或混和石英粉、氟化钙和浓酸后加热而制得。也可从磷肥厂中分解磷矿时逸出的四气体用水吸收而得。溶液中含有六氟合根离子（SiF62−），为八面体结构，Si-F键长1.71Å。

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